本站原创摘要3-4
Abstract4-8
1 引言8-18
1.1 衍射光学的兴起与进展8
1.2 衍射光栅的进展和运用前景8-12
1.2.1 衍射光栅的进展8-9
1.2.2 衍射光栅的运用9-12
1.3 衍射光栅的微细加工技术12-15
1.3.1 传统的微细加工策略12
1.3.2 激光微细加工12-14
1.3.3 其他的微细加工策略14-15
1.4 论文的探讨目的和作用15-16
1.5 论文主要探讨内容16
1.6 本课题的革新点16-18
2 实验策略及设备介绍18-22
2.1 实验技术路线18
2.2 实验设备和测试仪器18-20
2.2.1 溶胶及其薄膜的制备设备19
2.2.2 微细加工设备19
2.2.3 性能测试仪器19-20
2.3 实验所需要的主要试剂20-22
3 感光性薄膜的制备及其性能探讨22-26
3.1 溶胶的配制和感光性凝胶薄膜的制备22
3.2 感光性能探讨22-25
3.2.1 紫外光谱浅析23
3.2.2 红外光谱浅析23-25
3.3 结构性能测试浅析25
3.4 小结25-26
4 一维光栅的制备及其性能探讨26-38
4.1 激光干涉法制备一维光栅26-28
4.2 光栅的性能浅析28-33
4.2.1 表面形貌浅析28-31
4.2.2 衍射特性浅析31-33
4.3 光栅的化学刻蚀33-36
4.3.1 刻蚀剂的选择33-34
4.3.2 刻蚀历程34-35
4.3.3 结果浅析35-36
4.4 小结36-38
5 二维光栅的制备及其表面形貌浅析38-52
5.1 紫外掩膜法制备微光学点阵38-39
5.1.1 制备策略38-39
5.1.2 表面形貌浅析39
5.2 双光束双制备二维光栅39-46
5.2.1 制备策略39-41
5.2.2 表面形貌浅析41-46
5.3 四光束干涉制备布拉格光栅46-50
5.3.1 制备策略46-48
5.3.2 表面形貌浅析48-50
5.4 小结50-52
6 二维光栅的衍射特性浅析52-60
6.1 二维点阵的性能测试浅析52-54
6.1.1 实验历程52-53
6.1.2 结果浅析53-54
6.2 二维布拉格光栅的衍射性能测试浅析54-58
6.3 小结58-60
7 结论60-62
致谢62-64