零位点光源阵列多重波面自由曲面检测系统设计和结论

摘要3-4

Abstract4-5

目录5-7

1 引言7-12

1.1 课题背景7-8

1.2 国内外探讨近况8-10

1.3 本论文主要探讨内容10-12

2 光学自由曲面检测技术12-21

2.1 反射光栅摄影测量法12-13

2.2 光学计算全息CGH13-14

2.3 多重倾斜波面梯度补偿法14-20

2.3.1 波前梯度补偿基本原理14-17

2.3.2 点光源阵列多重波面干涉测量系统原理17-20

2.4 本章小结20-21

3 点光源阵列多重波面干涉系统设计21-35

3.1 干涉仪技术指标21-22

3.2 系统基本结构参数浅析讨论22-29

3.2.1 标准镜组焦面处点光源阵列像参数的浅析24-26

3.2.2 标准镜组基本机构参数的浅析讨论26-28

3.2.3 补偿球面镜后光束孔径角的确定28-29

3.3 考虑干涉容限的点光源阵列参数浅析29-31

3.4 系统基本结构计算浅析31-33

3.5 本章小结33-35

4 基于点光源阵列的斜率补偿系统35-50

4.1 微透镜阵列结构参数浅析测量35-40

4.1.1 显微测量法35-36

4.1.2 表面轮廓测量法36

4.1.3 焦距仪测量法36-37

4.1.4 干涉测量法37-38

4.1.5 微透镜阵列焦距实验浅析38-40

4.2 针孔阵列参数计算及设计40-45

4.2.1 针孔阵列与液晶光阀40-43

4.2.2 针孔阵列的加工策略及参数设计计算43-45

4.3 动态掩膜板基本结构参数的计算设计45-46

4.4 多重倾斜波面梯度补偿系统装调46-49

4.4.1 多重倾斜波面梯度补偿系统的机械装夹结构46-47

4.4.2 多重倾斜波面梯度补偿系统的装调47-49

4.5 本章小结49-50

5 系统构建与调试50-59

5.1 机械结构设计50-51

5.2 系统的构建装校51-56

5.2.1 参考光路反射镜的装调51-53

5.2.2 测试光路分光棱镜的装调53-54

5.2.3 测试光路标准镜组的装调54-55

5.2.4 多重倾斜波面梯度补偿系统和成像系统的装调55-56

5.3 系统装调实验结果56-58

5.4 本章小结58-59

6 总结与展望59-60

致谢60-61