本站原创摘要4-6
ABSTRACT6-11
第一章 绪论11-23
1.1 探讨背景11-12
1.2 非球面的基本概念12-16
1.2.1 非球面的定义12-13
1.2.2 与法线有关的重要量质13-15
1.2.3 非球面的非球面度15-16
1.3 非球面的检测策略16-21
1.3.1 工艺面检测法16-18
1.3.2 无像差点法18-19
1.3.3 补偿法19-20
1.3.4 计算全息法20-21
1.4 本论文的主要工作21-22
1.5 本章小结22-23
第二章 CGH 的制作23-31
2.1 常用 CGH 制作策略及制作历程概述23-24
2.1.1 常用 CGH 制作策略及制作历程23
2.1.2 利用电子束刻蚀 CGH 的制作历程23-24
2.2 CGH 常用的编码策略24-27
2.2.1 罗曼型编码25
2.2.2 迂回相位编码25-26
2.2.3 修正型离轴参考光编码26-27
2.3 电子束直写编码27-30
2.3.1 编码对象27
2.3.2 编码历程27-30
2.4 本章小结30-31
第三章 用于非球面面形检测的 CGH 的设计案例31-45
3.1 基于标量衍射论述设计 CGH31-37
3.1.1 基尔霍夫衍射论述32-33
3.1.2 夫琅和费衍射33-34
3.1.3 用惠更斯-菲涅尔原理设计 CGH34-37
3.2 基于光线追迹论述设计 CGH37-44
3.2.1 光线追迹法设计 CGH 的原理37-39
3.2.2 利用 Matlab 设计 CGH 的相位分布39-40
3.2.3 利用 Zemax 设计 CGH 的相位分布40-44
3.2.4 两种设计论述的比较44
3.3 本章小结44-45
第四章 CGH 的误差浅析45-67
4.1 二元线性光栅模型45-50
4.1.1 二元线性光栅模型45-48
4.1.2 衍射效率48
4.1.3 衍射波前相位函数48-49
4.1.4 衍射效率和衍射波前相位的敏感函数49-50
4.2 CGH 制作误差浅析50-63
4.2.1 基底面形误差50-51
4.2.2 刻蚀占空比误差51-52
4.2.3 刻蚀深度误差52-53
4.2.4 占空比误差和刻蚀深度误差的优化浅析53-58
4.2.5 刻蚀图案畸变误差58-59
4.2.6 直写编码误差59-63
4.3 CGH 误差浅析实例63-65
4.4 本章小结65-67
论文总结67-68