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摘要：本论文研制一种基于两点法的激光光束质量浅析检测系统,该系统可针对小功率、小发散角的激光器,进行精确检测。本论文对激光光束质量浅析论述及高斯光束的特性进行阐述,通过比较浅析传统检测策略,提出了一种基于两点法的激光光束质量浅析检测策略,对测量原理进行论述推导,并据此进行了检测系统案例设计。系统采取CCD器件作为检测的主探测器,为实现远场发散角测量,专门设计了增程组件。采取偏振片进行光强度衰减,可以针对不同产品的激光功率密度进行连续调节,保证CCD既有较高的输出又不至于饱和。采取光栅尺测量两点的位置差,提升了位移检测精度。设计了偏振片和CCD相机运动的伺服结构,综合运用莫尔条纹计数、精密螺旋传动、蜗轮蜗杆传动、电机步进制约等技术,实现了精确运动制约。上位机软件采取面向对象的程序设计软件进行开发,实现CCD光斑数据和光栅位移数据的采集、处理、计算及浅析,并对步进电机进行制约,界面直观友好。经实验验证,系统精度较高、测量速度快、自动化程度高。关键词：激光发散角论文两点法论文增程及消光组件论文偏振衰减论文CCD相机论文图像处理论文
摘要4-5
ABSTRACT5-7
第1章 绪论7-10
1.1 引言7
1.2 课题探讨目的与作用7
1.3 激光束散角检测的国内外探讨近况7-9
1.4 论文主要探讨内容9-10
第2章 光束质量评价与束散角测量策略10-15
2.1 高斯光束的光学特性10-12
2.2 激光光束质量评价策略12-13
2.3 传统激光束散角的测量策略介绍13-15
第3章 基于两点法的激光光束检测系统总体案例设计15-24
3.1 两点法激光束散角测量原理15-21
3.2 光束质量检测系统工作原理21
3.3 系统组成21-24
第4章 基于两点法的激光光束质量浅析检测系统设计24-46
4.1 增程组件24-25
4.2 衰减组件25-31
4.3 探测组件31-35
4.4 精密螺旋传动装置35-43
4.5 计算机系统43-44
4.6 软件案例44-46
第5章 检测系统解决的关键技术46-50
5.1 CCD数字图像自动化测量技术46-47
5.2 增程组件实现远场检测技术47-48
5.3 消光精密驱动技术48-49
5.4 莫尔条纹位移检测技术49-50
第6章 测试结果与误差浅析50-57
6.1 检测系统的实验50-52
6.2 误差浅析52-57
总结与展望57-59
致谢59-60