摘要5-6
ABSTRACT6-11
1 绪论11-18
1.1 引言11-12
1.2 SnO_2和 ZnSnO_3基本物理性质12-14
1.3 SnO_2和 ZnSnO_3材料的探讨概况14-15
1.3.1 SnO_2的探讨概况14
1.3.2 ZnSnO_3的探讨概况14-15
1.4 本实验立题依据、探讨内容和革新点15-18
1.4.1 立题依据15-16
1.4.2 探讨内容16
1.4.3 革新点16-18
2 Zn-Sn-O 薄膜的制备18-26
2.1 Zn-Sn-O 薄膜的制备法18-20
2.1.1 真空蒸发镀膜法18
2.1.2 溶胶-凝胶法18-19
2.1.3 化学气相沉积法19
2.1.4 分子束外延法19
2.1.5 激光脉冲沉积法19-20
2.2 反应磁控溅射法介绍20-22
2.2.1 磁控溅射机理20-21
2.2.2 磁控溅射制膜的特点21
2.2.3 磁控溅射法的优势21-22
2.3 Zn-Sn-O 薄膜的制备22-25
2.3.1 实验设备与仪器22-23
2.3.2 实验工艺23-25
2.4 小结25-26
3 Zn-Sn-O 薄膜的表征26-31
3.1 薄膜厚度的测定26
3.2 X 射线衍射测试26-28
3.3 霍尔测试28-30
3.4 小结30-31
4 Zn-Sn-O 薄膜的气敏性能测试与浅析31-43
4.1 测试系统的建立31-33
4.1.1 气敏系统的气路设计31-32
4.1.2 测试系统的整体结构32-33
4.2 气敏传感器的参数33-35
4.3 Zn-Sn-O 薄膜对于 H_2的气敏特性35-37
4.3.1 溅射功率对 H_2气敏性的影响35
4.3.2 温度对 H_2气敏性的影响35-36
4.3.3 H_2气敏的响应恢复性36-37
4.4 Zn-Sn-O 薄膜对于 LPG 的气敏特性37-39
4.4.1 溅射功率对 LPG 的气敏影响37
4.4.2 温度对 LPG 气敏的影响37-38
4.4.3 LPG 气敏的响应恢复性38-39
4.5 Zn-Sn-O 薄膜对于的酒精气敏特性39-41
4.5.1 溅射功率对酒精气敏性能的影响39
4.5.2 温度对酒精气敏的影响39-40
4.5.3 酒精气敏响应恢复特性40-41
4.5.4 气体传感器的选择性41
4.6 小结41-43
5 Zn-Sn-O 薄膜气敏机理43-52
5.1 气敏特性43
5.2 气敏机理模型43-47
5.2.1 表面电荷层模型43-44
5.2.2 晶界势垒制约模型44-45
5.2.3 物理吸附、脱附模型45-46
5.2.4 化学吸附、脱附模型46-47
5.3 ZnSnO_3气敏机理的探讨47-51
5.3.1 ZnSnO_3薄膜气敏传感器47
5.3.2 ZnSnO_3薄膜的气-固反应47-48
5.3.3 小尺寸效应和掺杂的作用机理48-49
5.3.4 表面反应和选择性的联系49-51
5.4 小结51-52
6 结论与展望52-54