简论人工机械瓣材料表面沉积类金刚石膜与耐磨性流程

摘要6-7

Abstract7-11

第1章 绪论11-17

1.1 类金刚石膜介绍11-12

1.1.1 类金刚石膜的结构与性质11

1.1.2 类金刚石膜的制备策略11-12

1.2 人工机械瓣表面改性探讨近况12-14

1.2.1 人工心脏瓣膜介绍12-13

1.2.2 人工机械瓣失效及表面改性13-14

1.3 本论文的探讨内容和作用14-16

1.3.1 本论文的探讨内容14

1.3.2 本论文的探讨作用14-16

1.4 本章小结16-17

第2章 实验策略及设备17-25

2.1 实验案例17-18

2.2 样品制备18

2.3 薄膜沉积设备及策略18-22

2.3.1 磁过滤阴极真空弧源沉积18-20

2.3.2 等离子体浸没离子注入与沉积20-21

2.3.3 薄膜制备的策略步骤21-22

2.4 薄膜表征策略及设备22-24

2.4.1 摩擦磨损实验22

2.4.2 X射线光电子能谱22-23

2.4.3 显微硬度检测23

2.4.4 厚度与应力检测23

2.4.5 表面形貌观察23

2.4.6 疲劳试验23-24

2.5 本章小结24-25

第3章 FCVAD法用于DLC膜制备25-45

3.1 环内贴片镀膜策略及工艺25-27

3.1.1 环内贴片镀膜策略25-26

3.1.2 环内贴片镀膜工艺26-27

3.2 环内贴片薄膜评价27-33

3.2.1 X射线光电子能谱检测27-29

3.2.2 显微硬度检测29-30

3.2.3 摩擦磨损试验30-33

3.3 模拟摩擦磨损试验33-38

3.3.1 LTIC瓣叶镀膜策略及工艺34

3.3.2 X射线光电子能谱检测34-35

3.3.3 摩擦磨损试验35-38

3.4 TI6AL4V瓣环薄膜沉积38-43

3.4.1 Ti6Al4V瓣环镀膜策略及工艺38-39

3.4.2 Ti6Al4V瓣环薄膜XPS检测结果39-42

3.4.3 疲劳试验42-43

3.4 本章小结43-45

第4章 PIIID法用于DLC膜制备45-59

4.1 环内贴片镀膜策略及工艺45-46

4.2 甲烷处理对TI6AL4V基底的影响46-48

4.2.1 X射线光电子能谱检测46-47

4.2.2 摩擦磨损试验47-48

4.3 乙炔气体沉积薄膜的评价48-57

4.3.1 X射线光电子能谱检测48-51

4.3.2 厚度与应力检测51-53

4.3.3 显微硬度检测53-54

4.3.4 摩擦磨损试验54-57

4.4 本章小结57-59

结论59-60

致谢60-61