本站原创摘要3-4
Abstract4-8
1 绪论8-12
1.1 探讨背景作用8-9
1.2 平面度检定技术近况9-10
1.3 本论文主要的探讨工作10-12
2 平面度测量系统12-26
2.1 干涉原理及干涉仪12-17
2.1.1 干涉原理12-13
2.1.2 干涉仪的分类13-14
2.1.3 等倾和等厚干涉基本原理14-15
2.1.4 等厚干涉仪的分类15-17
2.2 平晶分类与检测17-20
2.2.1 平晶的定义17-18
2.2.2 性能要求18-20
2.3 常见的检定策略20-24
2.3.1 等厚法20-22
2.3.2 等倾法22-23
2.3.3 多面互检23-24
2.3.4 三种检定策略的比较24
2.4 本章小结24-26
3 PJ15-J4型干涉仪的改善26-34
3.1 PG15-J4型等厚干涉仪的结构26-28
3.1.1 干涉仪系统参数26-27
3.1.2 相干光波的计算27-28
3.2 CCD相机28-31
3.2.1 CCD相机分类28-29
3.2.2 CCD图像测量技术29-30
3.2.3 DC130数字摄像机30-31
3.3 接收系统的改造31-33
3.3.1 激光扩束系统32
3.3.2 CCD镜头的计算与选择32-33
3.4 本章小结33-34
4 干涉条纹的数字处理技术34-48
4.1 干涉图像预处理34-37
4.1.1 比较度线性展宽34-35
4.1.2 图像相减35-37
4.2 干涉图像的滤波37-39
4.2.1 线性滤波器37-38
4.2.2 非线性滤波器38-39
4.2.3 实例比较39
4.3 图像二值处理39-41
4.3.1 几种常见的二值化法39-41
4.3.2 实例比较41
4.4 开运算与闭运算41-43
4.5 图像的细化处理43-46
4.5.1 细化算法原理43-46
4.5.2 仿真实现46
4.6 条纹的修正和标记46-47
4.7 本章小结47-48
5 测量结果及数据处理48-57
5.1 面形偏差的指标48-51
5.1.1 光圈指标48-49
5.1.2 数字波面指标49-50
5.1.3 两种指标的联系50-51
5.2 仪器的调整及测量51-54
5.2.1 仪器的调整51-52
5.2.2 数据测量52-54
5.3 不确定度浅析54-56
5.3.1 方差和传播系数54-55
5.3.2 输入量的标准不确定度来源55
5.3.3 合成不确定度与扩展不确定度55-56
5.4 本章小结56-57
6 总结与展望57-58
致谢58-59