本站原创摘要4-5
Abstract5-7
目录7-10
第一章 绪论10-16
1.1 微定位技术概述10
1.2 大行程微定位技术国内外探讨近况10-14
1.2.1 单级驱动的大行程纳米定位工作台10-13
1.2.2 两级驱动的大行程纳米定位工作台13-14
1.3 大行程微定位技术的进展走势展望14
1.4 本论文主要探讨内容14-16
第二章 微定位台的案例设计16-23
2.1 引言16
2.2 并联微定位机构16
2.3 新型微定位机构构型16-19
2.3.1 多功能微驱动接口模块16-18
2.3.2 一种2-PPr型二平动并联结构微定位平台18-19
2.4 二平动微定位台案例设计19-22
2.4.1 微定位台机构描述19-21
2.4.2 微定位台的单元机构划分21-22
2.5 本章小结22-23
第三章 微定位台中各单元机构的刚度模型23-42
3.1 引言23
3.2 柔性运动副的刚度模型23-27
3.2.1 弹性移动副的刚度模型23-24
3.2.2 柔性铰链的刚度模型24-26
3.2.3 柔性梁单元的刚度模型26-27
3.3 柔性机构的刚度浅析27-28
3.4 直圆柔性铰链平行导向机构28-36
3.4.1 平行导向机构描述28-29
3.4.2 平行导向机构支链的柔度模型29-34
3.4.3 平行导向机构的刚度模型34-35
3.4.4 实例浅析验证35-36
3.5 弹性折叠梁的刚度建模36-41
3.5.1 弹性折叠梁的机构描述36-37
3.5.2 弹性折叠梁支链的柔度模型37-39
3.5.3 弹性折叠梁的刚度模型39-40
3.5.4 实例浅析验证40-41
3.6 本章小结41-42
第四章 以刚度为目标的结构尺寸设计42-51
4.1 引言42
4.2 微位移放大模块的机构描述42-43
4.3 微位移放大模块的设计计算43-48
4.3.1 微位移放大模块设计指标43
4.3.2 微位移放大模块的结构尺寸设计43-48
4.4 基于有限元浅析的机构参数修正48-50
4.5 本章小结50-51
第五章 微定位台静力学及运动学浅析51-63
5.1 引言51
5.2 微定位台刚度模型的建立51-58
5.2.1 两输入支链的刚度模型52-56
5.2.2 建立微定位台末端的刚度模型56-58
5.3 微定位台运动学浅析58-62
5.3.1 微定位台输入支链的运动学浅析59-61
5.3.2 微定位台位置正反解61-62
5.3.3 微定位台的运动学模型62
5.4 本章小结62-63
第六章 微定位台参数化建模及有限元浅析63-70
6.1 引言63
6.2 全柔性机构性能的浅析策略63
6.3 基于VC与APDL的微定位台参数化设计63-68
6.3.1 微定位平台的APDL参数化建模64-67
6.3.2 基于VC的微定位台参数化浅析67-68
6.4 微定位台参数化有限元浅析实例68-69
6.5 本章小结69-70
第七章 微定位台实验制约系统70-82
7.1 引言70
7.2 压电陶瓷特性测试70-76
7.2.1 压电陶瓷概述70
7.2.2 压电陶瓷测试系统搭建70-71
7.2.3 蠕变特性测试71-73
7.2.4 迟滞特性测试73-76
7.3 微定位台测试实验系统76-78
7.3.1 微定位台实验系统搭建76
7.3.2 微定位台测试系统界面76-77
7.3.3 微定位台运动实验测试结果77-78
7.4 微定位台制约系统78-81
7.4.1 微定位台闭环反馈制约方式78-80
7.4.2 微定位台制约系统80-81
7.5 本章小结81-82
第八章 总结与展望82-84
8.1 总结82-83
8.2 展望83-84
致谢84-85