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摘要：红外探测器在空间探测以及目标发现和跟踪技术中具有及其重要的运用,其性能的优劣直接联系到获取数据的准确性和可信性。为了提升红外信号的浅析灵敏度,降低探测器的噪声,在(CVD)ZnS基底上,采取电子束及离子辅助沉积技术,研制了3～5μm高透,1.064～2.5μm波段截止的高通滤光膜。为了有效防止1.064μm波段处的激光对探测器造成的激光损伤,以保证探测器的正常工作,根据激光器的输出功率制备了对1.064μm激光波段具有1%、0.1%、0.01%数量级衰减能力的系列高通滤光膜,使红外探测器更具灵活性与智能化的特点。关键词：探测器论文抗激光性论文离子辅助沉积论文高通滤光膜论文
摘要4-5
ABSTRACT5-6
目录6-7
第一章 绪论7-9
1.1 引言7
1.2 进展近况7-8
1.3 课题探讨的目的及作用8-9
第二章 薄膜的基础论述9-16
2.1 薄膜的反射率9-11
2.2 等效折射率的计算11-13
2.3 截止带的宽度及展宽13-16
第三章 高通滤光片的膜系设计16-29
3.1 薄膜的吸收与散射16-18
3.2 基底及膜料的选取18-20
3.3 薄膜的附着力与应力匹配20-22
3.4 抗激光损伤22
3.5 膜系设计22-29
第四章 实验设备及工艺29-41
4.1 实验设备29-30
4.2 监控策略30-34
4.3 离子源辅助沉积34
4.4 均匀性的改善34-36
4.5 制备工艺36-38
4.6 反射板的测试38-41
第五章 试验结果与测试浅析41-43
5.1 测试结果41-42
5.2 误差的浅析42
5.3 性能测试42-43
第六章 总结43-44
致谢44-45