摘要5-6
Abstract6-11
1 绪论11-19
1.1 探讨背景及作用11
1.2 超精密加工及影响加工精度因素的探讨近况11-15
1.2.1 国内外精密和超精密加工的进展11-13
1.2.2 超精密加工机床的进展13-14
1.2.3 影响超精密加工精度的主要因素14-15
1.3 微振动探讨近况15-17
1.3.1 国外微振动探讨近况16
1.3.2 国内微振动探讨近况16-17
1.4 本论文主要探讨内容17-19
2 环境振动的探讨19-43
2.1 环境振动概述19-24
2.1.1 环境振动的探讨进展19
2.1.2 环境振动的特点19
2.1.3 环境振动的评价标准19-21
2.1.4 环境振动的振源21-23
2.1.5 环境振动的传播23-24
2.2 环境振动浅析策略24-31
2.2.1 环境振动的统计特点24-27
2.2.2 平稳随机历程和非平稳随机历程27-29
2.2.3 系统对随机振动的响应29-31
2.3 环境振动制约论述31-41
2.3.1 被动制约31-40
2.3.2 主动制约40-41
2.3.3 半主动制约41
2.3.4 混合制约41
2.4 本章小结41-43
3 超精密加工设备动力性能试验探讨43-52
3.1 动力性能试验策略概述43-45
3.1.1 试验模态策略的进展43-44
3.1.2 试验模态浅析历程44-45
3.2 超精密加工设备试验模态浅析45-49
3.2.1 试验对象及特点45-46
3.2.2 试验模态浅析装置46-48
3.2.3 模态测试结果浅析48-49
3.3 超精密加工设备动态响应测试49-51
3.4 本章小结51-52
4 超精密加工设备在微振动作用下的响应浅析52-76
4.1 设备计算模态浅析52-54
4.1.1 有限元模型的建立52-53
4.1.2 计算模态浅析53-54
4.2 设备对自身工作时的振动响应54-61
4.2.1 设备结构对振动的影响54-57
4.2.2 主轴旋转对设备振动影响的浅析57-61
4.3 设备在外界环境振动下的响应浅析61-75
4.3.1 实测环境振动浅析61-63
4.3.2 时域浅析——瞬态动力有限元浅析63-68
4.3.3 频域浅析——随机振动有限元浅析68-75
4.4 本章小结75-76
5 加隔振系统超精密加工设备的浅析76-97
5.1 隔振系统设计76-77
5.1.1 隔振系统设计依据76
5.1.2 隔振系统计算模型76-77
5.2 隔振系统对振动的响应浅析77-90
5.2.1 时域浅析——模态动力有限元浅析77-82
5.2.2 频域浅析——随机振动有限元浅析82-90
5.3 参数变化对隔振效果的影响90-96
5.3.1 隔振基础厚度对隔振效果的影响90-91
5.3.2 隔振弹簧刚度对隔振效果的影响91-92
5.3.3 工作转速下的隔振弹簧刚度影响92-96
5.4 本章小结96-97
6 结论与展望97-100
6.1 结论97-98
6.2 展望98-100
致谢100-101