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摘要：取样光栅是超强超快激光探讨中，对强激光能量进行分束取样测量的最有效手段。取样光栅衍射效率均匀性RMS是衡量其优劣的重要指标。本论文围绕取样光栅衍射效率的特点以及如何提升衍射效率均匀性开展论述和实验探讨。主要包含以下几方面内容：首先介绍了提升取样光栅衍射效率均匀性的作用，以及国内外在取样光栅研制方面和光学表面精密加工方面取得的一些进展和探讨成果。论述浅析方面，利用严格耦合波论述对光栅的衍射效率进行了浅析探讨，对TE波的衍射效率进行了公式推导，得出其衍射效率的表达式；利用Matlab编制的衍射效率数值计算程序，给出了光栅槽形参量变化下光栅的衍射效率分布。重点开展了微结构光学表面纳米/亚纳米尺度超精密加工工艺探讨。采取柔性方式，对光栅微结构表面进行纳米/亚纳米尺度研磨加工。开展了相关工艺实验，对加工前后光栅的衍射效率、表面形貌的变化进行了检测和浅析，获得了柔性研磨加工方式下光栅微结构表面去除函数的初步模型，并进行了相关实验验证，对实验结果进行了误差浅析。验证实验结果表明了用毛笔作为磨头对微结构表面进行纳米/亚纳米尺度研磨加工策略的可行性和有效性。关键词：取样光栅论文衍射效率均匀性论文微结构表面论文柔性论文纳米\亚纳米尺度论文超精密论文研磨论文
中文摘要4-5
Abstract5-7
第一章 绪论7-22
1.1 课题来源及作用7-10
1.2 国内外相关技术近况10-21
1.3 本论文探讨内容21-22
第二章 光栅严格耦合波论述浅析22-29
2.1 严格耦合波论述22-25
2.2 光栅衍射效率与槽深、占宽比的联系25-28
2.3 BSG 衍射效率不均匀性产生的理由28-29
第三章 微结构光学表面纳米尺度加工策略、加工系统与检测29-39
3.1 微结构光学表面纳米尺度加工策略29
3.2 微结构光学表面纳米尺度加工系统29-35
3.3 光栅衍射效率测量系统及其表面结构参数检测设备35-39
第四章 微结构光学表面纳米尺度加工工艺探讨39-61
4.1 光栅样片的制备39-43
4.2 研磨工艺实验43-56
4.3 工艺实验数据浅析56-61
第五章 验证及误差浅析61-65
5.1 衍射效率均匀性指标的定义61-62
5.2 验证实验62-64
5.3 误差浅析64-65
第六章 总结与展望65-68
6.1 总结65
6.2 展望65-68