本站原创摘要4-5
Abstract5-8
1 绪论8-19
1.1 非接触式超声压电作动器概述8-14
1.1.1 非接触式超声压电作动器的定义和特点8-10
1.1.2 非接触式超声压电作动器的探讨近况10-13
1.1.3 液体煤质超声电机的用途及运用前景13-14
1.2 化学机械抛光技术的探讨概况14-15
1.2.1 化学机械抛光技术的背景及探讨近况14
1.2.2 化学机械抛光中抛光液的探讨14-15
1.3 超声技术的运用15-18
1.3.1 超声技术在化学机械抛光中的运用15-16
1.3.2 流体振动抛光策略16-18
1.3.3 超声行波微流体驱动技术18
1.4 课题探讨的主要内容18-19
2 圆筒形压电振子的论述基础和流体超声驱动原理19-29
2.1 压电陶瓷的工作原理19-22
2.1.1 压电效应与逆压电效应19-20
2.1.2 压电方程20-22
2.2 压电振子的振动模态及行波合成论述22-26
2.2.1 压电振子的振动模态22-23
2.2.2 行波的合成论述23-26
2.3 流体超声驱动原理26-28
2.4 小结28-29
3 圆筒形压电振子的结构设计与有限元浅析29-38
3.1 压电振子的基本结构29-30
3.2 振子双频驱动原理30-31
3.3 压电振子的振动模态浅析31-37
3.3.1 基于有限元法的模态浅析31-33
3.3.2 影响振动模态的因素33-37
3.4 小结37-38
4 圆筒形压电振子的性能测试38-48
4.1 实验仪器和测试原理38-39
4.1.1 实验仪器38
4.1.2 测试原理38-39
4.2 振子共振状态下的振型测试39-43
4.2.1 振子的固有频率39-41
4.2.2 振子的周向振幅测试41-43
4.2.3 振子的轴向振幅测试43
4.3 液体对圆筒形压电振子振动的影响43-47
4.3.1 影响振子谐振频率的因素43-45
4.3.2 影响振子振幅的因素45-47
4.4 小结47-48
5 圆筒形压电振子在流体振动抛光中的运用48-59
5.1 流体转速特性浅析48-50
5.2 流体振动抛光系统设计50-54
5.2.1 圆筒芯装置设计51-52
5.2.2 反馈装置设计52-53
5.2.3 散热装置设计53-54
5.3 硅片抛光实验54-56
5.4 实验结果浅析56-58
5.5 小结58-59
6 结论59-60