简谈可调阈值可调惯性开关设计和网

摘要6-7

Abstract7-10

第1章 绪论10-23

1.1 微机电系统（MEMS）概述10-16

1.1.1 MEMS 技术的特点10-12

1.1.2 MEMS 的制造技术12-14

1.1.3 MEMS 技术在引信中的运用14-16

1.2 惯性开关国内外探讨近况16-21

1.2.1 国外进展情况16-18

1.2.2 国内进展情况18-21

1.3 论文探讨的目的和作用21-22

1.4 论文的主要内容22-23

第2章 阈值可调惯性开关多物理场浅析23-35

2.1 开关的工作原理23

2.2 静电场浅析23-27

2.2.1 吸合效应23-26

2.2.2 “负”弹簧效应26-27

2.3 加速度场浅析27-30

2.4 阻尼场浅析30-33

2.5 小结33-35

第3章 阈值可调的 MEMS 惯性开关设计35-45

3.1 开关模型的建立35-38

3.1.1 模型的工艺步骤35-36

3.1.2 模型的系统级行为模型36-37

3.1.3 尺寸设计37

3.1.4 模型的三维显示37-38

3.2 机电耦合浅析38-43

3.3 小结43-45

第4章 基于 CoventorWare 软件的 MEMS 阈值可调惯性开关的系统级浅析45-72

4.1 CoventorWare 浅析软件的介绍45-47

4.2 吸合电压和迟滞电压浅析47-50

4.2.1 吸合电压浅析47-49

4.2.2 迟滞电压浅析49-50

4.3 响应角度浅析50-53

4.4 谐响应浅析53-54

4.5 结构尺寸浅析54-60

4.5.1 结构尺寸参数对阈值加速度闭合电压的影响浅析54-56

4.5.2 结构尺寸参数对固有频率的影响浅析56-60

4.6 频域浅析60-63

4.6.1 有限元模态浅析60-62

4.6.2 交流小信号浅析62-63

4.7 参数浅析63-64

4.8 灵敏度浅析64-66

4.8.1 吸合电压灵敏度浅析65

4.8.2 固有频率灵敏度浅析65-66

4.9 阻尼浅析66-68

4.10 蒙特卡洛浅析68-70

4.10.1 可动电极有着±0.1μm 加工误差对吸合电压影响68-69

4.10.2 可动电极有着±0.1μm 加工误差对闭合时间影响69-70

4.11 小结70-72

结论72-74