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摘要：采取脉冲激光沉积(PLD)法在玻璃衬底上,通过调节真空室气压和热处理温度制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜吸收层和硫化镉(CdS)薄膜缓冲层。采取X射线衍射仪(XRD)表征了薄膜的晶体结构,采取紫外—可见分光光度计浅析了薄膜的光吸收特性。通过优化CIGS薄膜和CdS薄膜的制备工艺,找到了较佳的CIGS薄膜吸收层和CdS薄膜缓冲层制备工艺条件。实验发现,利用PLD制备CIGS薄膜并经过热处理可获得结晶较好的CIGS薄膜吸收层,并且在可见光区具有良好的光吸收特性,随着热处理温度的升高,平均晶粒尺寸逐渐增大；随着沉积气压的升高,CIGS薄膜的(112)衍射峰相对强度增大,尤其当沉积气压为1Pa时,(112)衍射峰的相对强度最大,沿112方向择优取向最强；随着沉积气压的升高,薄膜的透射略有增强,但吸收限变化不大,禁带宽度约为1.12-1.19eV。利用PLD制备CdS薄膜缓冲层,经过热处理(350℃、20min、Ar气氛)可获得六方相的CdS多晶结构,CdS薄膜沿002方向择优生长,并且在可见光区甚至在近红外波段,其透过率都比较高(70%-98%),尤其当沉积气压为10Pa时,其最高透过率在550-900nm波段可达到92%以上；随沉积气压的增大,平均晶粒尺寸逐渐增大,光学带隙也逐渐增大。关键词：PLD论文CIGS薄膜论文CdS薄膜论文光学带隙论文热处理论文
摘要5-6
ABSTRACT6-10
第一章 绪论10-16
§1.1 探讨背景10
§1.2 CIGS太阳电池探讨进展10-11
§1.3 CIGS太阳电池结构11-13
§1.4 CIGS薄膜结构及性质13-14
§1.5 CIGS薄膜制备策略14-15
§1.6 探讨目的及作用15-16
第二章 实验原理及历程16-21
§2.1 脉冲激光沉积原理及特点16-19
2.1.1 PLD原理16-18
2.1.2 PLD特点18-19
§2.2 实验药品及仪器19-21
2.2.1 实验药品19
2.2.2 实验仪器19-21
第三章 沉积气压及热处理温度对铜铟镓硒(CIGS)薄膜特性的影响21-40
§3.1 实验历程21-22
3.1.1 样品制备21
3.1.2 样品测试21-22
§3.2 晶体结构浅析22-32
3.2.1 X射线衍射浅析论述22-23
3.2.2 相同沉积气压(Ar)下,不同热处理温度对晶体结构的影响23-28
3.2.3 相同热处理温度,不同沉积气压(Ar)对晶体结构的影响28-32
§3.3 CIGS薄膜的光学特性浅析32-38
3.3.1 相同沉积气压(Ar)下,不同热处理温度对薄膜光学特性的影响33-35
3.3.2 相同热处理温度,不同沉积气压(Ar)对薄膜光学特性的影响35-38
§3.4 小结38-40
第四章 沉积气压对硫化镉(CdS)薄膜特性的影响40-46
§4.1 实验历程40-41
4.1.1 样品制备40
4.1.2 样品测试40-41
§4.2 晶体结构41-43
4.2.1 X射线衍射浅析论述41-43
§4.3 CdS薄膜的光学特性43-44
§4.4 小结44-46