本站原创摘要5-6
Abstract6-10
第1章 绪论10-20
1.1 PFMs的性能要求10
1.2 PFMs材料10-12
1.2.1 铍11
1.2.2 碳基材料11-12
1.2.3 钨12
1.3 钨涂层制备工艺12-16
1.3.1 熔盐电镀12-13
1.3.2 热喷涂13-15
1.3.3 化学气相沉积15
1.3.4 物理气相沉积15-16
1.4 铼涂层的制备技术16-18
1.4.1 电化学沉积法17
1.4.2 电子束物理气相沉积法17
1.4.3 CVD17-18
1.5 课题提出及探讨内容18-20
1.5.1 课题提出及作用18-19
1.5.2 探讨内容19-20
第2章 实验策略、设备及测试策略20-28
2.1 辉光等离子渗金属技术基本概念及原理20-23
2.1.1 辉光放电20-21
2.1.2 阴极溅射21
2.1.3 不等电位空心阴极放电21-22
2.1.4 双层辉光等离子渗金属原理22-23
2.1.5 双层辉光等离子渗金属技术特点23
2.2 试验材料、实验设备及实验步骤23-25
2.2.1 试验材料23
2.2.2 实验设备23-24
2.2.3 制备策略24
2.2.4 温度测量24-25
2.3 性能检测25-28
2.3.1 表面和断面形貌浅析25
2.3.2 EDS成分浅析25-26
2.3.3 XRD相组成浅析26
2.3.4 硬度检测26
2.3.5 划痕试验26-28
第3章 双层辉光等离子渗铼及渗钨工艺探讨28-48
3.1 源极及工件极结构探讨28-30
3.2 石墨表面渗铼探讨30-32
3.2.1 铼涂层显微结构30-31
3.2.2 铼涂层断面浅析31
3.2.3 铼涂层结合力31-32
3.3 石墨表面制备铼/钨复合涂层探讨32-44
3.3.1 工件极电压和源极电压的影响32-33
3.3.2 温度的影响33-39
3.3.3 源—阴极间距的影响39-40
3.3.4 气压的影响40-42
3.3.5 沉积时间的影响42-44
3.4 C/C复合材料表面渗铼和渗钨探讨44-48
3.4.1 C/C复合材料表面渗铼44-46
3.4.2 铼金属化C/C复合材料表面渗钨46-47
3.4.3 结合强度47-48
第4章 碳基材料表面铼钨扩散探讨48-54
4.1 空位扩散48-50
4.2 半无限长扩散体模型计算扩散系数50-54
第5章 结论与展望54-56
5.1 结论54
5.2 工作展望54-56