摘要2-3
Abstract3-7
第1章 前言7-20
1.1 探讨背景及选题作用7-8
1.2 文献综述8-19
1.2.1 光通信及无源光网络介绍8-12
1.2.2 平面光波导分光器的原理12
1.2.3 平面光波导分光器晶片的材料和制造工艺12-14
1.2.4 平面光波导分光器晶片材料的基本特性14-16
1.2.5 金刚石刀具介绍16-19
1.3 论文探讨内容19-20
第2章 实验技术与工作原理20-28
2.1 平面光波导分光器晶片切割时的结构特点20-21
2.2 切割机器介绍21-22
2.3 切割加工历程中有着的不足22-25
2.4 测量技术与设备25-27
2.5 本章小结27-28
第3章 平面光波导分光器晶片切割工序探讨28-39
3.1 切割夹具平行度对切割性能影响的探讨28-29
3.2 粘接介质对切割性能影响的探讨29-32
3.2.1 粘接剂的选择30
3.2.2 粘接操作的关键技术点30-31
3.2.3 平面光波导分光器晶片加工中的粘接技术31-32
3.3 机器工艺参数对金刚石刀具磨损的探讨32-38
3.3.1 实验刀具的选择33
3.3.2 实验测量与数据收集33
3.3.3 实验参数的选取33-34
3.3.4 实验结果34-35
3.3.5 极差浅析实验结果35-38
3.4 本章小结38-39
第4章 金刚石刀具对切割性能影响的探讨39-68
4.1 影响金刚石刀具利用寿命和切割性能的因素39-43
4.1.1 机器工艺参数的影响及选择41
4.1.2 刀具性能的影响及选择41-43
4.2 金刚石刀具修整探讨43-47
4.2.1 修整刀具砂板的选择43-44
4.2.2 修整砂板对金刚石刀具性能影响的实验探讨44
4.2.3 实验结果44-47
4.3 金刚石刀具对切割性能影响的探讨47-66
4.3.1 金刚石颗粒大小对切割性能影响的探讨47-53
4.3.2 金刚石密度对切割性能影响的探讨53-60
4.3.3 粘接材料对切割性能影响的探讨60-66
4.4 本章小结66-68
第5章 改善案例及验证68-72
5.1 改善案例的设计与实施68-69
5.2 实验数据的浅析69-71
5.3 本章小结71-72
第6章 结论72-73