无源平面光波导分光器晶片切割加工工艺和技术怎样

摘要2-3

Abstract3-7

第1章 前言7-20

1.1 探讨背景及选题作用7-8

1.2 文献综述8-19

1.2.1 光通信及无源光网络介绍8-12

1.2.2 平面光波导分光器的原理12

1.2.3 平面光波导分光器晶片的材料和制造工艺12-14

1.2.4 平面光波导分光器晶片材料的基本特性14-16

1.2.5 金刚石刀具介绍16-19

1.3 论文探讨内容19-20

第2章 实验技术与工作原理20-28

2.1 平面光波导分光器晶片切割时的结构特点20-21

2.2 切割机器介绍21-22

2.3 切割加工历程中有着的不足22-25

2.4 测量技术与设备25-27

2.5 本章小结27-28

第3章 平面光波导分光器晶片切割工序探讨28-39

3.1 切割夹具平行度对切割性能影响的探讨28-29

3.2 粘接介质对切割性能影响的探讨29-32

3.2.1 粘接剂的选择30

3.2.2 粘接操作的关键技术点30-31

3.2.3 平面光波导分光器晶片加工中的粘接技术31-32

3.3 机器工艺参数对金刚石刀具磨损的探讨32-38

3.3.1 实验刀具的选择33

3.3.2 实验测量与数据收集33

3.3.3 实验参数的选取33-34

3.3.4 实验结果34-35

3.3.5 极差浅析实验结果35-38

3.4 本章小结38-39

第4章 金刚石刀具对切割性能影响的探讨39-68

4.1 影响金刚石刀具利用寿命和切割性能的因素39-43

4.1.1 机器工艺参数的影响及选择41

4.1.2 刀具性能的影响及选择41-43

4.2 金刚石刀具修整探讨43-47

4.2.1 修整刀具砂板的选择43-44

4.2.2 修整砂板对金刚石刀具性能影响的实验探讨44

4.2.3 实验结果44-47

4.3 金刚石刀具对切割性能影响的探讨47-66

4.3.1 金刚石颗粒大小对切割性能影响的探讨47-53

4.3.2 金刚石密度对切割性能影响的探讨53-60

4.3.3 粘接材料对切割性能影响的探讨60-66

4.4 本章小结66-68

第5章 改善案例及验证68-72

5.1 改善案例的设计与实施68-69

5.2 实验数据的浅析69-71

5.3 本章小结71-72

第6章 结论72-73