基于CMOEMS技术带电路输出PZT电能收集器查抄袭率怎么

中文摘要3-4

Abstract4-8

第1章 绪论8-19

1.1 课题探讨的目的和作用8-9

1.2 压电能量收集器进展近况9-14

1.3 PZT 制备策略14-17

1.4 本课题探讨内容17-19

第2章 能量收集的基本原理19-35

2.1 振动能量收集的转换机制19-21

2.2 压电能量收集21-22

2.2.1 压电能量收集论述21-22

2.2.2 压电材料的压电效应22

2.3 压电方式（d_(31)和d_(33)）的比较22-25

2.4 悬臂梁的论述计算25-33

2.4.1 压电悬臂梁的应力分量25-32

2.4.2 悬臂梁在受集中载荷时的最大应力σ max32-33

2.5 PZT 薄膜电能收集器33-34

2.6 本章小结34-35

第3章 PZT 电能收集器的设计与仿真35-48

3.1 计算机辅助软件介绍35-37

3.1.1 COMSOL Multiphysics 软件介绍35-36

3.1.2 IntelpSuite 软件介绍36-37

3.2 PZT 电能收集器结构尺寸的设计与仿真37-42

3.2.1 构建三维模型37

3.2.2 PZT 电能收集器性能浅析37-40

3.2.3 PZT 电能收集器的频率响应浅析40-42

3.3 PZT 电能收集器制作工艺流程与仿真42-46

3.3.1 PZT 电能收集器制作工艺流程42-43

3.3.2 掩模版图的设计43-44

3.3.3 PZT 电能收集器工艺流程模拟44-46

3.4 能量收集电路的设计与仿真46-47

3.5 本章小结47-48

第4章 PZT 电能收集器的制备及测试48-60

4.1 溶胶-凝胶(Sol-Gel)技术48

4.2 PZT 薄膜的制备48-51

4.2.1 制备 PZT 溶胶的主要原料49-50

4.2.2 PZT 溶胶的制备工艺50-51

4.2.3 PZT 薄膜的制备51

4.3 PZT 粉体的测试51-52

4.4 PZT 薄膜的测试52-53

4.4.1 XRD 测试浅析52

4.4.2 SEM 表面形貌浅析52-53

4.5 PZT 电能收集器制备的关键工艺53-56

4.5.1 光刻工艺53-54

4.5.2 氧化工艺54

4.5.3 扩散工艺54

4.5.4 腐蚀工艺54-55

4.5.5 离子刻蚀55-56

4.6 PZT 电能收集器的制备56-58

4.6.1 掩模版的设计56

4.6.2 PZT 电能收集器的制备工艺流程56-58

4.7 PZT 电能收集器的测试58-59

4.8 本章小结59-60

结论60-61