简述YBCO超导薄膜快速制备工艺

摘要6-7

Abstract7-10

第1章 绪论10-23

1.1 超导材料概述10-15

1.1.1 超导材料的进展历史10-13

1.1.2 超导材料的划分13-14

1.1.3 超导材料的特点参数14-15

1.2 高温超导材料15-18

1.2.1 高温超导材料系统15-17

1.2.2 高温铜氧基超导氧化物材料的结构17-18

1.3 YBCO超导材料18-21

1.3.1 YBCO涂层导体介绍及其结构18-19

1.3.2 YBCO的晶体结构19-20

1.3.3 YBCO薄膜的制备策略20-21

1.4 本论文探讨出发点及思路21-23

1.4.1 论文的出发点21-22

1.4.2 论文的思路22-23

第2章 实验案例、相关设备和浅析表征策略23-31

2.1 实验机理、相关设备及案例23-26

2.1.1 外延薄膜生长论述23-24

2.1.2 实验相关设备24-25

2.1.3 实验案例25-26

2.2 浅析表征策略26-31

2.2.1 差热浅析26

2.2.2 高分辨率光学显微镜26-27

2.2.3 X射线衍射仪27-28

2.2.4 扫描电子显微镜28-29

2.2.5 超导转变温度和电磁特性测量系统29-31

第3章 传统无氟CSD法制备YBCO薄膜31-38

3.1 单晶衬底的选择与清洗31-32

3.2 YBCO超导薄膜胶体的制备32-33

3.3 YBCO超导薄膜的旋涂33-35

3.4 YBCO超导薄膜胶体的传统热处理工艺35-37

3.5 本章小结37-38

第4章 差热浅析结果及快速挥发分解机理38-42

4.1 原料组分的差热浅析结果38-39

4.2 快速挥发分解机理39-41

4.2.1 快速挥发机理39-40

4.2.2 快速分解机理40-41

4.3 本章小结41-42

第5章 快速挥发热处理工艺探讨42-46

5.1 快速挥发热处理工艺42-43

5.2 快速挥发热处理工艺实验结果与讨论43-45

5.3 本章小结45-46

第6章 快速分解热处理工艺探讨46-54

6.1 固相分解热处理工艺46-49

6.1.1 固相分解热处理工艺的探讨46-47

6.1.2 固相分解热处理工艺实验结果与讨论47-49

6.2 快速分解热处理工艺49-53

6.2.1 快速分解热处理最佳升温速率的探讨49-50

6.2.2 快速分解热处理最佳升温速率实验结果与讨论50-53

6.3 本章小结53-54

第7章 YBCO薄膜成相外延工艺探讨54-58

7.1 不同成相温度的结果与讨论54-56

7.2 最佳成相温度下的结果与讨论56-57

7.3 本章小结57-58

结论58-59

致谢59-60